服務守備範圍
我們做什麼、不做什麼——先講清楚
半導體實驗室的等級跨度很大。把我們能承接的、和該找專門 fab 團隊的分開講,你比較好判斷,我們也不會接到做不好的案。
✓ 我們能做的
- ISO Class 5–8 潔淨環境的規劃
- 量測、分析與失效分析設備的選型與配置
- 微振動、電磁干擾 (EMI)、溫濕度的空間規劃
- 特殊氣體與化學品的供應、排放與安全規劃
- 設備進場、安裝與環境條件確認
— 超出我們範圍的
- 前段製程機台與整廠 turnkey 交鑰匙(fab)
- ISO Class 1–4 等級的超高潔淨無塵室
- 製程設備本身的採購與系統整合
這類需求建議找專門的 fab 工程團隊;我們能幫上忙的是量測分析端的設備與環境。
半導體實驗室儀器設備整合規劃
原拓整合多年的儀器銷售與規劃經驗,協助您把半導體實驗室從材料分析、製程檢測到失效分析所需的關鍵設備選對、配置到位。分析儀器的選型與導入,可延伸參考我們的分析儀器規劃與導入服務。
01
材料與薄膜分析
掌握材料組成與薄膜特性,是製程的基礎。我們協助您選配光學放射光譜 (OES)、感應耦合電漿 (ICP)、X 射線螢光 (XRF) 等元素分析設備,以及薄膜厚度與膜層量測系統。
02
製程檢測與缺陷分析
製程異常要能被看見、被定位。我們協助配置光學顯微、表面形貌與缺陷檢測設備,並依您的晶圓尺寸與量測節奏規劃樣品傳遞與待測動線。
03
失效分析 (FA)
找出失效的根因,需要一整條分析鏈。我們協助整合電子顯微 (SEM)、聚焦離子束 (FIB)、表面分析等設備的空間與環境條件,並把振動、電磁與潔淨要求一併納入規劃。
04
真空與製程支援設備
穩定的真空與廠務支援,是量測可靠的前提。我們協助選配真空幫浦、真空烘箱與相關支援設備,並規劃特殊氣體、純水與電力等公用系統的配置。
環境規劃能力
撐得起半導體量測的環境,是規劃出來的
設備型錄上的振動、電磁與潔淨容許值,要在平面規劃階段就對應到空間。這是半導體實驗室最容易被忽略、事後最難補的部分。
潔淨度 ISO Class 5–8
依量測需求規劃潔淨等級與氣流組織,把污染源擋在關鍵設備之外。
微振動控制
評估電子顯微、探針量測等設備的振動容許值,規劃基座與振動源距離。
電磁干擾 (EMI)
把電力幹線與量測區在平面上分開,必要時導入遮蔽與接地設計。
特殊氣體與化學品
管路材質、氣瓶櫃位置、排氣與廢液分流,在設計階段就釐清安全與法規。
怎麼合作
從你要跑的量測,反推設備與空間
01
談需求
你要跑哪些製程與量測、樣品類型、產出節奏。
02
設備選型
依量測目標配置關鍵分析設備,列出環境需求。
03
空間規劃
潔淨、振動、EMI、氣體管路一起規劃到位。
04
落地確認
施工、設備進場與環境條件確認。
為什麼是原拓
為什麼找原拓做半導體實驗室規劃
同時懂設備與空間
旗下有科學儀器部門與工程團隊,少數能一起談「設備怎麼選」和「空間怎麼撐」的廋商。
誠實的守備範圍
能做的(ISO 5–8、量測分析設備配置)與不能做的(前段 fab turnkey)先講清楚,不接做不好的案。
從量測需求反推
不是等你開規格,而是從你要跑的量測項目倒推設備與環境。
半導體實驗室規劃 FAQ
常見問題
你們做半導體實驗室的整廠 turnkey 統包嗎?
我們的定位是「關鍵量測分析設備的選型配置」加上「實驗室空間規劃」。如果您需要的是連製程設備一起的整廠交鑰匙(fab turnkey),建議找專門的製程工程團隊;如果您要的是把量測分析設備選對、把潔淨與環境條件規劃到能用能驗,這是我們擅長的。
設備一定要跟原拓買,才提供規劃嗎?
規劃與設備採購可以分開談。我們熟悉這些設備的規格與環境需求,能協助您選型與配置;設備要跟誰買由您決定。若由我們一起供應設備,介面與後續維護會更單純。
半導體實驗室最容易被忽略的規劃重點是什麼?
通常是振動、電磁干擾與微環境這三項。設備型錄上的振動與 EMI 容許值,必須在平面規劃階段就對應到空間配置,事後補救的成本很高。
你們能協助處理特殊氣體與化學品的安全法規嗎?
我們在設計階段就把氣體種類、用量、管路材質、排氣與廢液分流規劃進去。涉及認證與安全查核的部分屬於第三方把關角色,我們協助您對接 SGS 或專業顧問,不代替官方認證。
還沒有明確規格,可以先談嗎?
可以。先談您要跑的製程與量測項目,我們協助把需求轉成具體的設備與空間規格,不需要您先準備好完整規格書。
聯絡我們
把你要跑的量測告訴我們,其餘交給規劃
不用先準備好規格書,先談需求就好。我們會從你要做的量測與製程,反推設備選型與空間規劃。

