空氣浴塵室

人員或物品進入潔淨室之緩衝通道，設於潔淨室入口。
． 功能：氣鎖（Air Lock）、人員管制及高風速20~25m/sec塵埃吹落帶走之功能 。
． HEPA filter過濾效率：99.97%（0.3 micro meter particle）。
． 噴嘴：12組。
． 吹風時間：可設定2~60 sec。
．電力需求：220V 3phase 50/60 Hz。