空氣浴塵室

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空氣浴塵室
空氣浴塵室

人員或物品進入潔淨室之緩衝通道,設於潔淨室入口。
. 功能:氣鎖(Air Lock)、人員管制及高風速20~25m/sec塵埃吹落帶走之功能 。
. HEPA filter過濾效率:99.97%(0.3 micro meter particle)。
. 噴嘴:12組。
. 吹風時間:可設定2~60 sec。
.電力需求:220V 3phase 50/60 Hz。

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