無塵型熱風循環烘箱 DOF-72 / DOF-150 / DOF-270

產品定位

DOF 系列是熱風循環烘箱的無塵型，在氣流路徑上針對潔淨度做了優化設計，減少箱內微粒對工件的影響。溫度範圍至 250°C，控溫精度 ±1°C，適用於半導體、面板、LED、光電等對製程環境有潔淨度要求的場域。

詳細規格請參閱本頁「規格」分頁。報價與客製化評估請洽原拓科技。

適合什麼應用

• 半導體製程烘烤：光阻烘烤（soft bake / hard bake）、晶圓去濕等需要控制微粒的製程。
• 面板與顯示器製程：膜層固化、配向膜烘烤等平面顯示器製程中的熱處理。
• LED 與光電元件：晶粒打線後的固晶膠固化、封裝材料預烘等。
• 潔淨室內的材料處理：在既有潔淨室環境中需要進行熱處理的各類應用。

不適合的情況：

• 應用不在潔淨室環境、製程不要求微粒控制 → 標準型 DO 系列或精密型 DOS 系列即可
• 操作溫度需超過 250°C → 評估高溫型 DH 系列

DOF-72 / DOF-150 / DOF-270 怎麼選

三款的差別在容積大小，分別約 72L、150L 和 270L。選型時建議評估每批工件的數量和尺寸，並確認製程對潔淨等級的具體要求。如果標準規格不夠用，也接受客製。

訂製選配

• 程式升降溫控制
• 溫度記錄輸出介面
• 客製潔淨等級與過濾規格
• 客製尺寸

更多熱風循環烘箱選型資訊可參閱分類頁的選型導引。